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本实用新型公开了一种单晶炉用环形分水汇装置，包括单晶炉盖、位于单晶炉盖上的若干视窗、与单晶炉盖内部连通的进水口及出水口；所述每个视窗上同样设有进水口及出水口；还包括一个圆弧形的进水汇及一个圆弧形的出水汇，将冷却液的进水管均汇总到进水汇，由进...
该专利属于南京晶能半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京晶能半导体科技有限公司授权不得商用。

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