下载碳化硅晶体的切割方法的技术资料

文档序号:29933394

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本发明公开一种碳化硅晶体的切割方法,涉及碳化硅晶体技术领域,用于解决现有的碳化硅切割方法成本高、效率低且切割面粗糙的技术问题。本发明所述的碳化硅晶体的切割方法,包括以下步骤:根据具体的碳化硅晶体的晶体结构确定该晶体的解理方向或解理面;根据需...
该专利属于河北同光晶体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北同光晶体有限公司授权不得商用。

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