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一种非熔融超晶格相变薄膜材料制造技术
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文档序号:29926338
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本发明属于微电子器件及存储技术领域,更具体地,涉及一种非熔融超晶格相变薄膜材料,其包括相变层和钉扎层,所述相变层和钉扎层交替堆叠形成周期性结构,所述相变层采用GeTe材料,所述钉扎层采用TiTe2材料;工作中,在所述相变层开始发生非熔融相变...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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