下载形成于半导体管芯上的铁电金属-铁电金属电容器及方法的技术资料

文档序号:29795632

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实施例包含制造具有多个金属接触件的金属‑铁电金属电容器的结构和方法。实施例可包含:第一金属条带,设置在衬底上且在第一方向上延伸;铁电毯覆层,设置在第一金属条带上;第二金属条带,设置在铁电毯覆层上且在不同于第一方向的第二方向上延伸;以及多个金...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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