下载压力控制系统与反应炉的技术资料

文档序号:29765737

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本实用新型公开了一种压力控制系统与反应炉,压力控制系统包括反应室、冷却装置、抽气装置、第一控制阀与第二控制阀,反应室具有第一开口;冷却装置与第一开口连通,用于对从第一开口流出的气体进行冷却,冷却装置具有供冷却后的气体流出的第二开口与第三开口...
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