下载一种半导体器件气密检测定位系统的技术资料

文档序号:29680394

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本发明公开了一种半导体器件气密检测定位系统,包括中央处理器、负压控制机组以及通过无线网络通讯模块与中央处理器实现无线双向通讯的无线监控终端,所述中央处理器分别与视觉图像采集单元、视觉图像处理单元和气泡定位单元实现双向电性连接,且中央处理器的...
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