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本申请公开了一种芯片双面光电特性综合检测系统和装置，包括气浮基座、样品可调夹具、正面电学检测探针机构、背面电学检测探针机构、正面观察机构和背面观察机构等；本技术的气浮基座、样品可调夹具、正面检测探针机构和背面检测探针机构为模块化的机构，可以...
该专利属于英铂科学仪器(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英铂科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。

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