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电声谐振器和制作该电声谐振器的方法。一种电声谐振器包括设置在载体基板(110)上的声学反射镜(120)、底部电极(130)和压电层(140)。结构化二氧化硅瓣层(150)设置在压电层(140)上，这两个层具有公共接触表面。在压电层(140)...该专利属于RF360欧洲有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过RF360欧洲有限责任公司授权不得商用。
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电声谐振器和制作该电声谐振器的方法。一种电声谐振器包括设置在载体基板(110)上的声学反射镜(120)、底部电极(130)和压电层(140)。结构化二氧化硅瓣层(150)设置在压电层(140)上，这两个层具有公共接触表面。在压电层(140)...