下载用于芯片上应力检测的方法及设备的技术资料

文档序号:29600291

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本发明提供一种微电子芯片装置,其包含:半导体衬底;及多个芯片上应变传感器(OCSS),其在所述衬底上构建在所述衬底的各个位置处。所述OCSS可各自包含经配置以感测所述各个位置中的位置处的应变且产生表示那个位置处的所述应变的应变信号的多个压阻...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。

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