专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
美光科技公司
>
用于芯片上应力检测的方法及设备技术
>技术资料下载
下载用于芯片上应力检测的方法及设备的技术资料
文档序号:29600291
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种微电子芯片装置,其包含:半导体衬底;及多个芯片上应变传感器(OCSS),其在所述衬底上构建在所述衬底的各个位置处。所述OCSS可各自包含经配置以感测所述各个位置中的位置处的应变且产生表示那个位置处的所述应变的应变信号的多个压阻...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。