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一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法技术
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文档序号:29579189
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一种微结构、柔性压力传感器及其制备方法,该微结构包括柔性材料的基底和微柱体阵列,所述微柱体阵列以与竖直方向成倾斜角度的方式一体地形成在所述基底上,所述微结构的中心轴在三维空间内与沿竖直方向的竖直轴不重合,或者说所述微结构的中心轴在三维空间内...
该专利属于清华大学深圳国际研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳国际研究生院授权不得商用。
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