下载一种大尺寸硅单晶提渣装置的技术资料

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本发明公开了一种大尺寸硅单晶提渣装置,涉及单晶加工提渣技术领域。本发明包括析出坩埚,析出坩埚的四端均焊接有辅助引导滑轨,辅助引导滑轨的外侧滑动连接有配动水冷屏,配动水冷屏的两端固定连接有速冷型水冷屏结构,配动水冷屏的两侧均固定连接有自动化调...
该专利属于弘元新材料(包头)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过弘元新材料(包头)有限公司授权不得商用。

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