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一种半导体硅片抛光用上载暂存机构，包括若干相邻而设的上载装置，所述上载装置具有：用于支撑所述硅片的上载支撑组件；和用于浸润所述硅片待抛光面的上载溢流组件；其中，所述上载支撑组件与所述硅片侧壁接触并使所述硅片悬空设置，且所述上载支撑组件可沿其...该专利属于天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司授权不得商用。