下载一种雷达感应芯片生产用除尘装置的技术资料

文档序号:29528003

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本实用新型属于芯片生产设备领域,尤其是一种雷达感应芯片生产用除尘装置,针对现有雷达感芯片生产设备的除尘效果较差,无法对芯片上的灰尘进行有效清理,降低了加工效率的问题,现提出如下方案,其包括两个固定板,两个固定板的其中一个固定板的一侧均转动安...
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