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本实用新型公开了一种溅射靶材检测装置，属于检测装置领域，包括夹具、间隔夹具设置的圆顶夹具和推动所述圆顶夹具的驱动部，其中在夹具的第一通孔上连通有氦气供给装置，其用于向所述靶材的内部容腔内供给氦气；在所述圆顶夹具上开设的第二通孔上连通有氦气检...
该专利属于浙江最成半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江最成半导体科技有限公司授权不得商用。

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