下载一种用于半导体加工的铜线机气体自动比例调节设备的技术资料

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本实用新型公开了一种用于半导体加工的铜线机气体自动比例调节设备,包括机体、连接在机体外侧壁上的调节机构,以及控制调节机构的控制主机,机体内部设置密封腔,密封腔内设置多个进气喷头;调节机构包括第一存储罐、第二存储罐和混合罐,第一存储罐与混合罐...
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