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本公开的实施例描述一种反馈回路，所述反馈回路可以用于维持几乎恒定的壳层电压，并且由此在基板的表面处产生单能IEDF。因此，本文描述的系统使得能够对IEDF的形状以及在基板表面中形成的特征的轮廓进行精确控制。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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