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用于在衬底上沉积原子层的方法和系统。所述方法进行一个或多个方法循环以形成p型氧化物层，其中方法循环包括连续进行以下步骤：将所述衬底暴露于Sn(IV)或Cu(II)前体气体，将所述衬底暴露于氧供体气体，其中在将所述衬底暴露于所述氧供体气体之前...
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