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本发明公开了一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，包括晶圆定位单元和椭偏仪反射角调节单元；晶圆定位单元包括水平的滚珠丝杠、驱动滚珠丝杠旋转的第一电机、螺纹连接在滚珠丝杠上的螺母座；螺母座上设置有第二电机、基座和载物台；第二电机固定在螺母座上，第...
该专利属于江苏鲁汶仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器有限公司授权不得商用。

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