温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种在真空束源腔中精密调节束源方向和位置的束源操纵装置，所述装置位于真空束源腔中，所述装置包括：L型支架(1)、支架底座(2)、电动精密旋转台(3)、电动精密二维移动平台(4)、超声射流脉冲阀(7)、点光源红外线激光定位器(8)...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。