下载一种石墨烯铜靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:29243906

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本发明公开了一种石墨烯铜靶材及其制备方法,具体涉及靶材技术领域,包括靶材组件,所述靶材组件包括外包铜背板和石墨烯铜靶材主体,所述外包铜背板内部开设有凹槽,所述石墨烯铜靶材主体外壁设置有石墨烯镀层,所述外包铜背板和石墨烯铜靶材主体之间焊接连接...
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