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一种基于高纵横比波导的二维材料电光调制器制造技术
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下载一种基于高纵横比波导的二维材料电光调制器的技术资料
文档序号:29223290
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本发明公开发明了基于高纵横比波导的二维材料电光调制器。自下而上依次包括衬底层、硅光波导、电介质填充层、第一二维材料层、第二二维材料层,还包括第一金属层、第二金属层。第一金属层与第二金属层分别沉积在第一二维材料层上方靠右侧和第二二维材料层上方...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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