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本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法，本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底，以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体；所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接，使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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