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本申请公开了一种封闭式片盒，涉及半导体制造领域。该封闭式片盒包括顶板、底板和连接于顶板与底板之间的多个立柱，所述立柱上设有多个槽位；所述封闭式片盒还包括活动门和侧板，所述活动门和所述侧板分别围设在多个所述立柱的外侧，所述活动门、所述侧板、所...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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