下载一种混合气体制备装置和充气方法的技术资料

文档序号:29208386

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本发明公开了混合气体制备装置和充气方法,包括:混合气体充气装置、至少一个气压传感器和至少一个温度传感器,所述气压传感器和温度传感器均设有传输部件;所述混合气体充气装置包括SF6充气气路、N2充气气路、CO2充气气路、试验腔体、混合气体出气管...
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