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本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手,包括支撑板、底座、支撑柱和驱动电机,所述支撑板的顶端固定有底座,且底座的内部设置有驱动电机,所述底座的顶端设置有支撑柱,所述支撑柱的表面设置有滑槽,所述支撑柱的顶端设置有第一伺服电机,所述夹板...该专利属于盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司授权不得商用。
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