下载一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具的技术资料

文档序号:29196161

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本申请公开了一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具。包括:用于量化光电探针压力值的压力检测组件和用于夹持所述光电探针的滑动夹紧组件;本申请通过在安装部底部设置通槽,将压力传感器与安装部底部固接,将压力传感器另一端通过连接部与固定部连接;当探针...
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