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一种探针机构和可变温真空探针平台制造技术
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文档序号:29153631
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本发明公开了一种探针机构,包括探针组件,探针组件包括固定部、探针及第一弹性部,探针沿自身轴向可滑动连接于固定部,第一弹性部连接于固定部和探针,用于给探针相对固定部的移动提供弹性阻尼。本发明能有效避免探针划伤待测样品。...
该专利属于武汉佰力博科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉佰力博科技有限公司授权不得商用。
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