温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种半导体加工的真空烧结装置，包括安装台和铰接安装在所述安装台上的炉盖，所述安装台中沿横向从左至右依次设置有预热部、真空烧结部和冷却部；所述安装台的左侧设置有进料机构，右侧设置有出料机构，所述真空烧结装置还包括输送料盘在所述预热...
该专利属于江苏新智达新能源设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏新智达新能源设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。