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一种高效环保镀膜辅助装置制造方法及图纸
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文档序号:29124837
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本实用新型公开了一种高效环保镀膜辅助装置,涉及半导体器件技术领域。本实用新型包括镀膜底座,镀膜底座中部插接连接有收集盒,且收集盒内中部放置有收集板,收集盒顶端插接连接有若干个镀膜室,且镀膜室顶端插接密封放置有镀膜盖,镀膜盖内顶端以及中部分别...
该专利属于云南驰宏国际锗业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南驰宏国际锗业有限公司授权不得商用。
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