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本发明公开了一种悬臂混合式干式真空泵，包括悬臂腔与非悬臂体，其中：非悬臂泵体是由若干个泵腔串联而成的泵腔组，悬臂腔与非悬臂体的任意相邻部件之间采用嵌入式定位；非悬臂体内的各泵腔以及悬臂腔通过气路串联，非悬臂体和悬臂腔的下方设置有底部连接件作...
该专利属于上海樊容工业技术中心所有，仅供学习研究参考，未经过上海樊容工业技术中心授权不得商用。

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