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用于对透明基板改性的系统和方法技术方案
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下载用于对透明基板改性的系统和方法的技术资料
文档序号:29069928
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一种系统,包括:射束源(110),以及包括第一部分和第二部分的光学系统(304)。该系统进一步包括集成到第一部分和第二部分中的相应部分中的第一扭矩电机和第二扭矩电机。第一扭矩电机(420)配置为使第一部分(416)围绕第一轴线(434)旋转...
该专利属于康宁股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康宁股份有限公司授权不得商用。
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