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本实用新型提供一种激光切割晶圆精密移动结构，包括机架，机架上设置沿着X方向移动的X滑动座；X滑动座上设置沿着Y方向移动的XY滑动座；XY滑动座上设置旋转座；旋转座上设置晶圆真空吸盘，旋转座和晶圆真空吸盘之间设置至少3个压电陶瓷。机架上设置与...
该专利属于郑州轨道交通信息技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过郑州轨道交通信息技术研究院授权不得商用。

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