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本发明公开了用于半导体晶圆清洗的烘干装置，包括烘干箱，所述烘干箱主要由支撑腿、底板、外壳、顶板、防尘罩、密封门组成，所述支撑腿顶部通过螺栓连接有所述底板，所述底板顶部外侧通过螺栓连接有所述外壳，所述外壳顶部通过螺栓连接有所述顶板，还包括烘干...
该专利属于江苏亚电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏亚电科技有限公司授权不得商用。

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