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非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品技术
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文档序号:28931263
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本申请提供一种非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品。非金属吸收渐变薄膜的制备方法,包括:根据目标图样设计膜系组成和镀膜挡板组成,然后在基材上进行镀膜;所述膜系组成包括依次叠置于基材上的单晶硅层、氮化硅层和二氧化硅层。具膜器件,使...
该专利属于蓝思科技(长沙)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过蓝思科技(长沙)有限公司授权不得商用。
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