下载非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品的技术资料

文档序号:28931263

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种非金属吸收渐变薄膜的制备方法、具膜器件和电子产品。非金属吸收渐变薄膜的制备方法,包括:根据目标图样设计膜系组成和镀膜挡板组成,然后在基材上进行镀膜;所述膜系组成包括依次叠置于基材上的单晶硅层、氮化硅层和二氧化硅层。具膜器件,使...
该专利属于蓝思科技(长沙)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过蓝思科技(长沙)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。