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测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质技术方案
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下载测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质的技术资料
文档序号:28868360
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本公开涉及一种用于测量薄膜光学常数的方法、系统、计算设备和存储介质,该方法包括:获取关于待测对象的第一光谱数据,第一光谱数据至少指示待测对象在入射光的多个波长下、对应于多个测量角度的反射率;基于第一光谱数据,提取预定波长下的第一光谱数据,预...
该专利属于上海复享光学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海复享光学股份有限公司授权不得商用。
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