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本发明提供了一种多工位设备的模板定位方法及系统，该模板定位方法包括：位置计算步骤：控制第一工位模块移动至第二工位模块位置，记录此时的第一工位模块的第一坐标；控制第一工位模块移动至第三工位模块位置，记录此时的第一工位模块的第二坐标；相对位置计...该专利属于深圳市卓兴半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市卓兴半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种多工位设备的模板定位方法及系统，该模板定位方法包括：位置计算步骤：控制第一工位模块移动至第二工位模块位置，记录此时的第一工位模块的第一坐标；控制第一工位模块移动至第三工位模块位置，记录此时的第一工位模块的第二坐标；相对位置计...