下载晶片加工过程中的自动化流转线及自动化流转方法的技术资料

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本发明提供了一种晶片加工过程中的自动化流转线及自动化流转方法,该自动化流转线包括第一工作区间、第二工作区间、升降机构和托盘,升降机构包括提升机和中转匣,提升机具有容纳中转匣的空间,并且提升机用于携带中转匣往返于第一工作区间和第二工作区间;第...
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