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本发明涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统。本发明包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送作为用于识别对象的信息的对象识别信...
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