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本发明提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统，包括：数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。

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