下载一种铸造单晶硅的热场结构的技术资料

文档序号:28625349

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本实用新型公开了一种铸造单晶硅的热场结构,包括隔热笼,设置在隔热笼内部的耐高温坩埚,设置在耐高温坩埚底端的石墨底板、DSS石墨导热板,隔热条和石墨导热条,所述DSS石墨导热板的上端面为凸台结构,所述的隔热条设置在所述DSS石墨导热板四周的边...
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