温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及磁控溅射磁棒的冷却系统，包含有设置于型材外部的外围板，外围板外部沿其长度方向设置有两根凸条；外围板在凸条左右两侧均固定有长度方向与磁棒一致的水流通道板，水流通道板一侧设置有弯钩状的弧形槽，凸条嵌入该弧形槽中；水流通道板内部呈中...
该专利属于梭莱镀膜工业(江阴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过梭莱镀膜工业(江阴)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。