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本实用新型公开了用于真空离子镀膜机的冷却循环装置，包括外壳体，所述冷却管通过第一抽吸泵和第二抽吸泵与水箱呈循环连通连接，且冷却管与内仓外壁呈包裹连接。该用于真空离子镀膜机的冷却循环装置的外壳体另一侧设有水箱，且外壳体内设有内仓，而内仓外壁设...
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