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本发明涉及一种甲基三氯硅烷的利用系统，甲基三氯硅烷和无水甲醇在反应塔内反应生成含甲醇的氯化氢气体和甲基三甲氧基硅烷；含甲醇的氯化氢气体通过冷却单元除去大部分甲醇后通过脱醇单元制得氯化氢干燥气体；单质硅和氯化氢干燥气体在三氯氢硅制备组件中反应...
该专利属于浙江三时纪新材科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江三时纪新材科技有限公司授权不得商用。

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