温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

对因带电现象而导致的位置偏移高精度地进行修正。带电粒子束描绘装置(100)具备：使用图案密度分布以及照射剂量分布来算出带电粒子束的照射量分布的照射量分布算出部(33)；通过对多个覆盖带电粒子的分布函数的各个与照射量分布分别进行卷积积分来算出...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。