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本发明的目的在于，在利用树脂片进行的多晶硅的防污中，有效防止源自树脂片的多晶硅的污染。本发明的多晶硅的防污方法的特征在于，使用具有内表面和外表面的管状树脂片来对多晶硅进行防污时，将该管状树脂片或其经切割而得的树脂片以不露出其内表面的状态保持...
该专利属于株式会社德山所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社德山授权不得商用。

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