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一种高线性度复合绝缘侧栅结构的GaN晶体管器件制造技术
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下载一种高线性度复合绝缘侧栅结构的GaN晶体管器件的技术资料
文档序号:28538569
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本发明涉及一种高线性度复合绝缘侧栅结构的GaN晶体管器件,包括:衬底层;若干沟道层,若干所述沟道层依次叠于所述衬底层上;栅极,设置在若干所述沟道层的两侧和顶部,并位于所述GaN晶体管器件的中间位置处,而且至少最底层的所述沟道层的两侧不设置所...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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