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本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种半导体制造用湿法氧化装置，包括安装台，所述安装台的一侧表壁安装有开关，所述安装台的底部安装有固定座，所述固定座的一侧表壁通过电机架安装有第一电动机，所述第一电动机的输出轴贯穿固定座的一侧表壁转动连接有...
该专利属于江苏纳沛斯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏纳沛斯半导体有限公司授权不得商用。

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