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多层层叠膜制造技术
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文档序号:28433808
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第一层的光学厚度的层厚度分布具有第一单调增加区域,该第一单调增加区域包括其中最大光学厚度为100nm以下的1A单调增加区域和其中最小光学厚度为大于100nm的1B单调增加区域,并且1B单调增加区域的斜率1B与1A单调增加区域的斜率1A的比例...
该专利属于东洋纺薄膜解决有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东洋纺薄膜解决有限公司授权不得商用。
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