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本发明涉及一种具有硬质涂层保护的晶硅微针及其制备方法。本发明的具有硬质涂层保护的晶硅微针，包括微针本体和设置在微针本体表面的硬质涂层。本发明的加固晶硅微针的加工方法简单高效，不仅可以强化微针的强度防止微针的断裂，同时涂覆有硬质涂层的微针可以...
该专利属于苏州恒之清生物科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恒之清生物科技有限公司授权不得商用。

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