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本发明公开了一种电子器件用氮化镓单晶材料的快速抛光方法，属于晶体加工技术。本发明针对蓝宝石等异质衬底上生长的氮化镓单晶材料的外形特征，其单晶材料的上下表面均不平整，且厚度较小，无法通过磨床等工具加工，本发明提出一种晶片固定装置，结合定向仪，...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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